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超精密光学元件（如非球面透镜、自由曲面镜、衍射光学元件）的制造技术直接影响光学系统的性能。随着光学系统向更轻、更小、更高性能方向发展，传统加工方法已难以满足需求，新兴制造技术正逐步成为主流。
1. 超精密数控加工技术
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单点金刚石车削（SPDT）：适用于红外光学材料（如锗、硫化锌），可实现纳米级表面粗糙度，但仅适用于软质材料。
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快刀伺服（FTS）与慢刀伺服（STS）：用于加工非轴对称光学面形（如离轴抛物面），通过高频刀具摆动实现复杂曲面加工。
2. 磁流变抛光（MRF）与离子束抛光（IBF）
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MRF：利用磁流变液在磁场作用下形成柔性抛光模，可高效修正中高频面形误差，适用于非球面透镜的最终抛光。
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IBF：通过离子束轰击材料表面实现原子级去除，适用于超光滑光学表面（如X射线反射镜）。
3. 增材制造（3D打印）光学元件
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玻璃3D打印：如Nanoscribe的双光子聚合技术可制造微透镜阵列或复杂光波导结构，但尚未达到传统光学玻璃的透光率要求。
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金属光学支架：选区激光熔化（SLM）可制造轻量化钛合金支撑结构，减少传统机械加工的装配误差。
4. 超精密检测与质量控制
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干涉检测：使用相移干涉仪检测面形精度（PV值<λ/20）。
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白光干涉仪：测量表面粗糙度（Ra<1nm）。
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计算全息检测（CGH）：用于自由曲面光学元件的非接触式检测。
5. 未来趋势：智能化与绿色制造
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AI辅助工艺优化：利用机器学习预测抛光参数，减少试错成本。
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环保加工技术：如干式抛光减少化学废液排放。
超精密光学制造技术的进步将持续推动光学系统性能的提升，并在AR/VR、光通信、量子光学等领域发挥关键作用。
